Ang mga bahagi ng vacuum ay ang mga pangunahing functional unit na bumubuo sa vacuum system. Responsable sila para sa pagkamit at pagpapanatili ng isang partikular na kapaligiran na may mababang presyon sa isang saradong espasyo at pagsuporta sa kaugnay na proseso. Ang pangunahing halaga nito ay nakasalalay sa paglikha at pagkontrol sa mga espesyal na pisikal na kondisyon na iba sa normal na presyon.
Ang ganitong mga aparato sa pangkalahatan ay kailangang makayanan ang mahigpit na mga kinakailangan ng napakababang mga kapaligiran ng density ng gas. Ang kanilang disenyo at mga proseso ng pagmamanupaktura ay nangangailangan ng espesyal na pagproseso ng proseso upang mabawasan ang paglabas ng gas ng materyal mismo at matiyak ang integridad ng istruktura at pagiging maaasahan ng sealing sa mikroskopikong sukat. Kasama sa mga function ang gas extraction, flow control, isolation at separation, pressure state perception, at directional conduction ng partikular na enerhiya o substance sa isang vacuum.
Ang synergy sa pagitan ng mga ito ay nagbibigay-daan sa system na makamit at matatag na mapanatili ang iba't ibang antas ng mga kondisyon sa pagtatrabaho mula sa magaspang na vacuum hanggang sa napakataas na vacuum, na nagbibigay ng kinakailangang suporta para sa mga susunod na operasyon sa isang vacuum na kapaligiran. Direktang tinutukoy ng pagganap nito ang kadalisayan, katatagan at kakayahang kontrolin ng mga panloob na kondisyon ng silid ng vacuum, na nakakaapekto naman sa katumpakan at pag-uulit ng iba't ibang prosesong pisikal o kemikal na nakasalalay sa kapaligirang ito.
Ang pagpili at pagsasaayos ng mga bahagi ng vacuum ay ang pangunahing pagsasaalang-alang para sa pagbuo ng mahusay at maaasahang mga solusyon sa vacuum, at malawakang ginagamit sa mga larangan ng pang-industriya at siyentipikong pananaliksik na may mahigpit na kontrol sa mga kapaligiran ng gas.